サーマルクリーンチャンバー
温度変化による伸縮や位置精度を必要とする設備、微細測定機器などの設備にクリーンエアーを循環させ湿度制御し、設置場所による環境変動の影響を排除します。お客様のニーズに合わせ、あらゆる特殊対応品のご要望にお応えします。
製品のポイント
- 清浄度はISOクラス４(クラス10)です。
- ±0.1℃～±0.005℃の温度コントロールが可能です。
- 内蔵装置に合わせた設計が可能です。
- 複数の保護回路により安全性を考慮しました。
- 製品不良の原因となる粒子、ガスの付着防止や温度・湿度の変化による膨張、収縮防止のための、高度清浄環境、高精度の温度・湿度環境の創出します。
- 湿度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低湿度仕様のご要望にもお応えします。
- PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能です。
規格・仕様について
| Cタイプ（エンクロージャー型） | ・測長機、ステッパーに最適な機器です。 ・湿度制御機構、送風機、HEPAフィルターを内蔵した空調機と作業域(チャンバー）にて構成されています。 ・チャンバーには自動シャッター(電気、圧空)、内部装置の操作確認用窓、メンテナンス用扉を取付けることができます。 ・HEPAフィルターを天井に配置した垂直層流タイプと横に配置した水平層流タイプがあります。 |
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| Bタイプ（開放型） | ・プロジェクションアライナー用 ・垂直層流型クリーンベンチの背面に温度制御機構付き空調機を内蔵したオープンタイプの機器です。 ・据付面積が小さく、また移動が容易なキャスター付で取扱性に優れています。 |
| Sタイプ（分離型） | ・電子ビーム描画装置、処理風量50m/min以下の小型機器に最適です。 ・空調機を作業域(チャンバー)から分離してダクト方式を採用したことにより、 騒音、振動、電磁ノイズ等を遮断します。 また正面・両側面・背面の４方向から内部装置を操作できます。 ・吸込口と作業域をダクト連結した循環方式の機器もあります。 |
| 主な用途 | |
| 半導体製造 | ステッパー（縮小投影露光装置）、アライナー、電子ビーム描画装置 |
| 表示パネル製造 | 液晶パネル、プラズマディスプレイ、FED |
| 精密加工 | 鏡面研磨機、レーザー加工機、磁気ヘッド切削機、精密レンズ研磨機、CD-R・DVD-R用スピンコーター |
| 精密測定器 | 精密測長機、２次元・３次元測長機 |
| バイオロジカリー | 精密顕微鏡、温湿度変化を嫌う試料の取扱い等 |
| 電子カタログ |  |
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