空気清浄技術のご紹介

様々な対策方法

　クリーンルームでは、清浄度を維持するために、様々な対策が講じられます。

1.外部からの粒子を持ち込むのを防止する
・作業者や大型物品用にエアーシャワーが用いられます。
清浄な高速エアーで、人や物品表面の付着粒子を吹き飛ばします。
・小型物品の出し入れにはパスボックスが用いられます。
・ルーム内を陽圧に保ち、ルーム外から塵埃が流入するのを防止します。

2. 室内で塵埃が発生するのを防止
・作業者は、適切にクリーンスーツを着用します。
・作業者の動作は、塵埃が発生しにくいように静かに行動します。
・装置の可動部からの発塵対策を行います。

3. 発生する塵埃を速やかに排出
・適切な気流設計が必要になります。
・風量が低下すると、ルーム内圧力が低下するので注意が必要になります。

4.ルーム内に塵埃を蓄積させない
・塵埃が蓄積しにくい平滑は構造を採用します。
・定期的なルーム清掃を行います。