空気清浄技術のご紹介

層流と乱流

　クリーンルームの気流の種類は、層流（一方向流）と乱流（非一方向流）の2種類があります。層流は、クラス100（ISOクラス５）より清浄なクリーンルーム（クラス10、クラス１）に用いられます。一方、乱流はクラス1,000以上のクリーンルームに用いられます。これは、ルーム内で生産する品目により、決定されます。

　層流型クリーンルームの特長は、清浄度が高く、かつ風量が多いことです。そのため、建設費、運転費などの価格は高くなります。層流型クリーンルーム内で作業員や装置から発生した粒子は、ルーム内で拡散させずに室外へ流出しますので、清浄度は高い状態を保つことができます。
　一方、乱流型の大きなメリットは、建設費、運転費の価格が安くできることです。
　
その他、高い清浄度は必要だが、ルームの一部だけ清浄度を高くしたい場合は、クリーンブースやクリーンベンチを用います。現在は、局所クリーンの考えを取り入れクリーンルームが設計されています。