空気清浄技術のご紹介

クリーンルームにおける空気清浄度の考えは、1963年にアメリカで「アメリカ連邦規格Federal Standard209」で確立されました。
開発当初は、航空機産業や原子力産業、電子工業における部品品質の向上などが目的でした。１立方フィート（約30ｃｍ立方）の中の0.5マイクロメーター（μｍ）以上の粒子数で示され、10,000個以下／立方フィート（例えば、2,500個、8,000個）などの場合、「クラス10,000」と称しました。同時に粒子数に合わせてクラス100、クラス100,000も規定され、数字が小さいほど、粒子数が少ない高品質なクリーンルームとなります。

　現在では国際基準に適合するため、単位をメートルとしたISOによるクラス表示も用いられています。クラス100はISOクラス５、クラス10,000はISOクラス７、クラス100,000はISOクラス8のクリーンルームとなっています（ISO 14664－1）。
　しかし、米国式の表記を長く使用してきたため、現在でもクラス100、10,000といった呼称も併用されています。

クリーンルームの洗浄度規格

空気中浮揚粒子に対する洗浄度規格は数種類あります。代表的な規格であるISO規格、日本工業規格（JIS）を表示します。参考として米国連邦規格（Fed,Std,209E）を付記します。
（Fed,Std,209E 米国連邦規格は2001年11月に廃止されました。）