クリーンルームのクラス(清浄度)について
クリーンルームは空気中の微粒子が少ない部屋です。
では空気中の微粒子がどの程度少ないか、つまりどれくらいキレイなのか。これらについての規格がクラス(清浄度)です。クラスの示す尺度は、単位体積に含まれる粒子の数で示されます。
規格はJISやISOがありますが、現在クラスについては国際統一規格であるISO規格に移行されています。
ISO規格では1m3当たりの空気中に0.1μm以上の粒子が基準になっておりISOクラス1~9までクラスを分類しています。ただし業界では以前より広く慣用されている米国連邦規格を使用する場合が多い状況です。
米国連邦規格では1立方フィート(約30.5cm四方)の空気中に含まれる0.5μm以上の大きさの粒子の数がいくつかで、クリーンルームのクラス分けをしています。
例えば、0.5μm微粒子が1立方フィートのなかに100個以下の場合はクラス100、0.5μm粒子が10,000個以下の場合はクラス10,000となります。
空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度
業種や作業内容による清浄度クラスの目安
クリーンルームを導入するにあたり、清浄度クラスは数字が小さい方が高い清浄空間となるので良いですが、設備費、運転費は高価となります。
よって、業種や作業内容などにより、製品に求められる要求、歩留まりなどを考慮して清浄度クラスが決定されます。
清浄度クラスのレベルは業界によっておおよその目安があります。
日本エアーテックでは、蓄積された自社の経験と実績から、お客様に適切な清浄度クラスでの仕様をご提案いたします。